- 顯微分光厚膜儀性能參數(shù)：
| 階 段 | OPTM-A1 | OPTM-A1 | OPTM-A1 |
| 波長范圍 | 230nm～800nm | 360nm～1100nm | 900nm～1600nm |
| 膜厚范圍 | 1nm～35μm | 7nm～49μm | 16nm～92μm |
| 測定時間 | 1秒/點 | ||
| 光徑大小 | 10μm（可小至約5μm） | ||
| 檢 測 器 | CCD | CCD | InGaAs |
| 光 源 | 氘燈+鹵素燈 | 氘燈+鹵素燈 | 鹵素燈 |
| 電源規(guī)格 | AC100V±10V 500VA (自動樣品臺規(guī)格） | ||
| 尺 寸 | 556(W)×566(D)×618(H)（自動樣品臺主體規(guī)格） | ||
| 重 量 | 約55kg（自動樣品臺主體規(guī)格） | ||
- 顯微分光厚膜儀應用特點：
1.反射對物鏡片實現(xiàn)透明基板的高精度測定
如果是透明基板，因里面的反射光而無法正確測出膜厚。通過反射対物鏡片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可測出高精度的膜厚。特別是對帶有光學非均質的基板效果很好。
2.顯微分光厚膜儀在微小區(qū)域測定所瞄定的模式或部位
在軟件上通過同時顯示樣品畫面和測定光采取部位，可很好的確認到測定點。特別是對有微小點（直徑≥3μm）的形狀的樣品。
3.顯微分光厚膜儀在紫外區(qū)域實現(xiàn)極薄膜的測定
在光干涉法中，膜越薄反射率的變化就越小。在紫外區(qū)域，由于膜厚反射率的變化相比可視區(qū)域要大，如果厚度為1nm左右的極薄膜，在紫外區(qū)域的測定效果很好。
4.顯微分光厚膜儀在近紅外區(qū)域實現(xiàn)帶色樣品的測定
在可視區(qū)域，即使時吸收較強的彩色膜等帶色的樣品，在近紅外區(qū)域幾乎會變得很透明，所以在近紅外區(qū)域的測定效果很好。
5.自動XY平臺實現(xiàn)多點自動檢測
OPTM標配XY自動平臺，僅需輸入坐標即可自動多點檢測大面積樣品， 實時獲取厚度分布圖。平臺設有防誤觸光欄，避**測過程誤觸。平臺尺寸200mm×200mm，可以檢測12寸晶圓。
6.顯微分光厚膜儀的操作便捷，檢測時間短
QC模式—點擊即檢測；
R&D模式—非標準樣品檢測時間小于1s。
